出版したKindle本を紹介します。
半導体プロセスのクリーンルーム・静電気対策の内容です。
半導体や電子部品業界に携わった人なら誰しもが
クリーンルーム・静電気対策に気を遣うことになります。
しかし、関わり始めた時点では
クリーンルームというのは全く馴染みが無いはずですし、
なぜ大したことなさそうな静電気をわざわざ対策 するのか理解出来ないと思います。
本書では、クリーンルームとは何か？
どのような目的でどのような仕組みになっているのか？
静電気をなぜ気を遣う必要があるのか？
対策するには何をどうしたらよいのか？
について述べていきました。
クリーンルーム・静電気対策を詳細に解説しているのは
本書くらいだと思います。
是非、関係する方は読んでみてはいかがでしょうか？
クリーンルームについてはバイオ系や食品を扱う方も
関係するテーマなので参考になると思います。
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↓ 以下概要分
半導体プロセス、電子部品のクリーンルーム・静電気対策について基礎から書きました。
対象としては以下の人たちです。
・半導体という分野に初めて関わり始めた人
・半導体プロセス、電子部品を扱っており、静電気に気を遣う必要がある人
・半導体に限らず、クリーンルーム内で働いており、今行っているクリーン服への着替えやエアシャワー、アースバンドが何のためにあるのか知りたい人
分かりやすく、原理部分に対しても高校レベルの基礎から説明を試みました。
正直、本屋に行って専門書を見ても全く分からないよ、という状態から、
クリーンルーム・静電気対策とは何か、何が重要なポイントかを説明できるレベルになれるまでを目指して書きました。
クリーンルームの知識は半導体や電子部品に限らず、生物系や食品系に携わる方にも役に立つので是非ご参照ください。
内容としては
クリーンな環境はなぜ必要か？
どれくらいのサイズの異物が駄目なのか？
CR(クリーンルーム)とは何か？
クリーン度を保つためにしている工夫とは？
ダウンフローとは何か？
フィルターは何を用いているのか？
なぜクリーンルーム内の気圧を気にするのか？
光散乱法とは？
空気中のパーティクルを検出するには？
なぜパーティクル数の管理が必要なのか？
空気中のパーティクル数以外にも気を遣うのはどこ？
ウェハ上についたパーティクルの検出方法とは？
クリーンルームのクラスは何段階ある？
局所クリーンとは？
半導体プロセスと後工程のクリーン度の違いは？
なぜ静電気は問題になるのか？
そもそもの静電気発生メカニズムは？
静電誘導による静電気発生メカニズムとは？
静電気による破壊にはどのようなモードがある？
静電気放電(ESD)モデルとは？
ESD試験とは？
CDM、MM、HBMとは？それぞれの特徴は？
静電気対策は基本的な考え方は？
工場内の湿度はどの程度なら良い？
超純水にわざわざ二酸化炭素を溶け込ませるのはなぜ？
アースバンド、静電靴をつけることはなぜ静電気対策になるのか？
中性化とは？
イオナイザとは？原理は？
エレクトロンシャワーとは？
電気特性検査で何が分かる？
クリーンルームや静電気に対して、国際規格はあるのか？あるとしたら何が該当するのか？
以上の疑問点を理解いただけるように書きました。
複数わからない箇所があれば本書を手に取ってみることを強くおすすめします。
私自身、半導体・電子部品分野に長く従事してきました。
新入社員や異動してきた方に対して、原理的なことを毎週教えており
大変分かりやすい説明との好評でした。
色々な専門書に手を出す前にまず、本書を読んでいただきたいです。
イメージが掴めるように図を多用しながら説明しました。
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